上海煜志可定制1200型cvd气相沉积系列

YHG-1206I-CVD系统由滑动式管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为生长石墨烯生长、研发的**炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
1、	高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，较高真空可达0.0001Pa；
2、	可配合压强控制仪控制气体压力，实现负压的精准控制；
3、	数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4、	每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性；
5、	采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6、	管路采用世界**Swagelok卡套连接，不漏气；
7、	**温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠；
8、炉体可移动，能够使加热部分快速降温。
主要技术参数：
炉体结构	双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温；
日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好
炉子底部装有一对滑轨，移动平稳
炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却
支撑两端安装油压缓冲器
炉盖可开启，可以实时观察加热的物料
电源	电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
炉管	高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数较小
尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm
法兰及支撑	SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空
一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷
可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑
包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合
加热系统	加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用
加热区长度：410mm
恒温区长度：200mm
工作温度：≤1150℃
较高温度：1200℃
升温速率：10℃/min
温控系统	温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能
30段升降温程序
测温元件：N型热电偶
恒温精度：±1℃
混气系统	三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制
内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀
管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套
每路气体进气管路配有不锈钢针阀
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
流量规格：0~1SLM
流量精度：±1.5%